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最近因為中興被美國政府制裁禁用美國電子芯片一事，全國上上下下普及了一遍半導體技術，也讓很多人明白了國產(chǎn)廠商在半導體領域原來這么落后，不僅下游的芯片研發(fā)、設計不行，上游的半導體裝備、材料更是嚴重依賴進口。
好在這種局面正在改變，芯片生產(chǎn)所需要的光刻機技術現(xiàn)在已經(jīng)國產(chǎn)化了，國內(nèi)公司攻克了另一項中國芯關鍵技術。
大家聽多了光刻機、蝕刻機以及nm工藝這樣的術語，對光刻膠還是十分陌生的。
買回來的硅圓片經(jīng)過檢查無破損后即可投入生產(chǎn)線上，前期可能還有各種成膜工藝，然后就進入到涂抹光刻膠環(huán)節(jié)。微影光刻工藝是一種圖形影印技術，也是集成電路制造工藝中一項關鍵工藝。
首先將光刻膠（感光性樹脂）滴在硅晶圓片上，通過高速旋轉(zhuǎn)均勻涂抹成光刻膠薄膜，并施加以適當?shù)臏囟裙袒饪棠z薄膜。
涂好了光刻膠才能進入光刻機進行曝光，讓紫外線在光刻膠上生成掩膜中的電路圖，必要的時候還要多重曝光，反復使用光刻膠，因此沒有這一步電路是造不出來的。
光刻膠是一種對光線、溫度、濕度十分敏感的材料，可以在光照后發(fā)生化學性質(zhì)的改變，這是整個工藝的基礎。
光刻膠有不同的類型，PMMA（聚甲基丙烯酸甲酯）、聚甲基戊二酰亞胺（PMGI）以及DNQ（酚醛樹脂）等材料都可以做光刻膠。據(jù)有關資料顯示，到2022年全球光刻膠市場市場價值將達到415億美元，年復合增長率5.5%——算起來這個市場比光刻機產(chǎn)值還要大得多，畢竟光刻膠是耗材。
目前光刻膠市場上的參與者多是來自于美國、日本、韓國等國家，包括陶氏化學、杜邦、富士膠片、信越化學、住友化學、LG化學等等，中國公司在光刻膠領域也缺少核心技術。
今天科技日報報道稱，圣泉公司歷時26年研發(fā)的國產(chǎn)光刻膠——“光刻膠用線性酚醛樹脂”國產(chǎn)化成功，打破了美國日本韓國等公司的壟斷。
圣泉公司現(xiàn)在已經(jīng)是亞洲最大的酚醛樹脂公司，技術來源于1997年圣泉與英國海沃斯礦物及化學品有限公司達成的合作，引進了英國最先進的酚醛樹脂生產(chǎn)技術，此后又引進了以原天津樹脂廠總工李乃寧高工為首的一系列研發(fā)骨干。
2007年，與中科院化學所合作成立了“酚醛樹脂技術研究中心”，引進并開發(fā)了包括火箭耐燒蝕材料在內(nèi)的多個航天及軍工項目；之后，建成了博士工作站，與多個院校開展了產(chǎn)學研合作；2011年，又引進了日本先進的環(huán)氧樹脂生產(chǎn)技術，建成了國內(nèi)最大的電子級特種環(huán)氧樹脂車間。
只是這篇報道除了明確國產(chǎn)光刻膠是酚醛樹脂類型之外，具體的性能還不得而知。不過從無到有實現(xiàn)突破之后，未來就有了發(fā)展的本錢了，國內(nèi)很多企業(yè)都是這么做起來的，技術突破了就有參與競爭的機會，不然連同臺競技的資格都沒有，何談追趕甚至超越呢。
01月07日 18:14
