荷蘭設(shè)備大廠 ASML 的光刻機(jī)是全球半導(dǎo)體客戶前進(jìn)高端技術(shù)、 3D NAND 技術(shù)的重要軍火供應(yīng)來源，正當(dāng)國內(nèi)半導(dǎo)體發(fā)展高端技術(shù)的同時，“國家隊(duì)”中芯國際、紫光集團(tuán)的長江存儲，都陸續(xù)獲得 ASML 光刻機(jī)的關(guān)鍵支援，象征前往高端半導(dǎo)體技術(shù)的道路上，又挺進(jìn)了關(guān)鍵一步！
長江存儲的第一臺 193mm 沉浸式光刻機(jī)日前已經(jīng)運(yùn)到武漢，準(zhǔn)備移入長江存儲的 12 寸晶圓廠，售價高達(dá) 7,200 萬美元，準(zhǔn)備為高端 3D NAND 技術(shù)生產(chǎn)做萬全準(zhǔn)備，而這只是開端，隨著長江存儲的 3D NAND 技術(shù)持續(xù)開發(fā)，力拼 2019 年進(jìn)入 64 層 3D NAND 技術(shù)，未來在試產(chǎn)和量產(chǎn)的道路上，會需要越來越多的光刻機(jī)臺加入。
除了長江存儲，中芯國際如火如荼朝高端工藝節(jié)點(diǎn)研發(fā)，因此，采購 ASML 的光刻機(jī)成為當(dāng)務(wù)之急，根據(jù)外媒報導(dǎo)，中芯已經(jīng)向 ASML 購買一臺光刻機(jī)，價格 1.2 億美元，用來發(fā)展高端技術(shù)。
過去，國內(nèi)半導(dǎo)體業(yè)者一直認(rèn)為基于“瓦森納協(xié)議”的限制，高科技術(shù)的發(fā)展受限于不能采購高端機(jī)臺，但 ASML 一直對外澄清，旗下的極紫外光 EUV 光刻機(jī)并沒有此限制，只要大陸半導(dǎo)體廠商購買，會依序出貨。
這次中芯國際訂購一臺光刻機(jī)，行業(yè)內(nèi)認(rèn)為是用來技術(shù)開發(fā)，未來高端技術(shù)量產(chǎn)需要的光刻機(jī)數(shù)量不止于此。
現(xiàn)在最大問題是，現(xiàn)今導(dǎo)體設(shè)備的交期非常長，幾乎是產(chǎn)能吃緊，英特爾、臺積電、三星等大廠為了力拼 10 納米和 7 納米工藝，幾乎包下絕大多數(shù)的光刻機(jī)，加上 SK海力士、東芝、美光擴(kuò)產(chǎn) 3D NAND 產(chǎn)能，也包下不少 EUV 光刻機(jī)，未來國內(nèi)半導(dǎo)體廠遇到的最大問題，會是供應(yīng)商的交期和產(chǎn)能限制。
01月07日 18:14
