2018年8月6日，晶瑞股份(SZ:300655)在全景網(wǎng)投資者關(guān)系互動(dòng)平臺(tái)介紹，公司的i線光刻膠已通過(guò)中芯國(guó)際上線測(cè)試，高純雙氧水已在中芯國(guó)際產(chǎn)線測(cè)試。
據(jù)旭日顯示與觸摸了解，晶瑞股份的i線光刻膠由子公司蘇州瑞紅生產(chǎn)，系承接國(guó)家重大科技項(xiàng)目02專項(xiàng)"i線光刻膠產(chǎn)品開(kāi)發(fā)及產(chǎn)業(yè)化"而來(lái)，為首次在國(guó)內(nèi)實(shí)現(xiàn)i線光刻膠的量產(chǎn)。
在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，光刻和刻蝕技術(shù)是半導(dǎo)體芯片在精細(xì)線路圖形加工中最重要的工藝，決定著芯片的最小特征尺寸，占芯片制造時(shí)間的40-60%，占芯片制造成本的35%左右。而光刻膠是光刻工藝得以實(shí)現(xiàn)選擇性刻蝕的關(guān)鍵材料，占芯片制造成本約7%左右，是評(píng)定半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)工藝技術(shù)水平的重要指標(biāo)。中國(guó)國(guó)內(nèi)光刻膠產(chǎn)品和國(guó)外先進(jìn)產(chǎn)品相比，基本上落后了三、四代左右。
《國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進(jìn)綱要》，提出"研發(fā)光刻機(jī)、刻蝕機(jī)、離子注入機(jī)等關(guān)鍵設(shè)備，開(kāi)發(fā)光刻膠、大尺英寸硅片等關(guān)鍵材料"；國(guó)家重點(diǎn)支持的高新技術(shù)領(lǐng)域（2015）中提到"高分辨率光刻膠及配套化學(xué)品作為精細(xì)化學(xué)品重要組成部分，是重點(diǎn)發(fā)展的新材料技術(shù)"；光刻技術(shù)（包括光刻膠）是《中國(guó)制造2025》重點(diǎn)領(lǐng)域。
目前市面上的半導(dǎo)體光刻膠一般分為磺化橡膠光刻膠、g/i線光刻膠（436/365nm）、KrF/ArF光刻膠（248/193nm）。i線光刻膠是指在365nm波長(zhǎng)下工作的光刻膠，主要用于6英寸和部分8英寸晶圓半導(dǎo)體的生產(chǎn)。
蘇州瑞紅是國(guó)內(nèi)最早生產(chǎn)電子光刻膠的化工企業(yè)，在中國(guó)液晶顯示行業(yè)發(fā)展過(guò)程中，蘇州瑞紅為L(zhǎng)CD光刻膠國(guó)產(chǎn)化做出了重要的貢獻(xiàn)，約占國(guó)內(nèi)四成左右的市場(chǎng)份額。
在中國(guó)的半導(dǎo)體光刻膠領(lǐng)域，蘇州瑞紅也在材料國(guó)產(chǎn)化領(lǐng)域發(fā)揮了重要作用，其用于4~5英寸分立器的磺化橡膠光刻膠占了國(guó)內(nèi)約六成的市場(chǎng)份額。i線光刻膠通過(guò)中芯國(guó)際上線測(cè)試，對(duì)于蘇州瑞紅和晶瑞股份來(lái)說(shuō)，不僅僅是產(chǎn)品升級(jí)、業(yè)績(jī)?cè)鲩L(zhǎng)而已，還代表著中國(guó)企業(yè)在半導(dǎo)體核心材料上的重大突破。
半導(dǎo)體光刻膠的技術(shù)壁壘很高，全球半導(dǎo)體行業(yè)中涉及光阻材料的核心技術(shù)主要被日本和美國(guó)企業(yè)所壟斷，包括日本的JSR、信越化學(xué)、TOK、住友化學(xué)、美國(guó)的SEMATECH、IBM、韓國(guó)的東進(jìn)化學(xué)等，它們加起來(lái)的市場(chǎng)份額超過(guò)了95%。
目前中國(guó)國(guó)產(chǎn)光刻膠正在由中低端向高端逐步過(guò)度，中國(guó)國(guó)內(nèi)廠商在半導(dǎo)體領(lǐng)域基本掌握了g線（436nm）和i線(365nm)光刻膠技術(shù)，正在攻克KrF（248nm）和ArF(193nm)光刻膠核心技術(shù)。
其中除晶瑞股份系承接國(guó)家重大科技項(xiàng)目02專項(xiàng)"i線光刻膠產(chǎn)品開(kāi)發(fā)及產(chǎn)業(yè)化"項(xiàng)目外，南大光電（SZ:300346）入股的北京科華，KrF（248nm）光刻膠上有小批量在中芯國(guó)際通過(guò)驗(yàn)證，同時(shí)也承接了國(guó)家重大科技項(xiàng)目02專項(xiàng)"193nm光刻膠及配套材料啟動(dòng)項(xiàng)目"；另外，上海新陽(yáng)(SZ:300236)則投資設(shè)立子公司開(kāi)展193nm(ArF)干法光刻膠研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目。
蘇州瑞紅是蘇州電子材料（集團(tuán)）有限公司同日本瑞翁（NIPPONZEON）和日本丸紅（MARUBENI）合資創(chuàng)建的專業(yè)生產(chǎn)電子化學(xué)品的公司，2011年12月20日，蘇電公司與晶瑞有限簽署股權(quán)轉(zhuǎn)讓合同，將其所持蘇州瑞紅54.56%的股權(quán)轉(zhuǎn)讓給晶瑞有限，2017年5月，晶瑞有限首次公開(kāi)發(fā)行股票并在創(chuàng)業(yè)板上市，股票簡(jiǎn)稱為"晶瑞股份"，股票代碼為"300655"。
晶瑞股份2018年半年度業(yè)績(jī)預(yù)告顯示，上半年歸屬于上市公司股東的凈利潤(rùn)為盈利：2050萬(wàn)元～2450萬(wàn)元，比上年同期增長(zhǎng)：43.29%～71.25%。
01月07日 18:14
